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LPC 大顆粒計數(shù)分析儀

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LPC 大顆粒計數(shù)分析儀

產(chǎn)品介紹：大顆粒計數(shù)分析儀是采用光阻法原理設(shè)計生產(chǎn)的顆粒計數(shù)器，其主要的功能是用來測試CMPSlurry藥液中顆粒數(shù)量等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。ZM-02產(chǎn)品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數(shù)量，如1μm、2μm、5μm等。設(shè)備原理：光阻法產(chǎn)品功能：顆粒計數(shù)、粒度分布、測試數(shù)量濃度

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品種介紹
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產(chǎn)品介紹：大顆粒計數(shù)分析儀是采用光阻法原理設(shè)計生產(chǎn)的顆粒計數(shù)器，其主要的功能是用來測試CMP Slurry藥液中顆粒數(shù)量等，如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。ZM-02產(chǎn)品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數(shù)量，如1μm、2μm、5μm等。

設(shè)備原理：光阻法

產(chǎn)品功能：顆粒計數(shù)、粒度分布、測試數(shù)量濃度

檢測方式：離線或在線

數(shù)據(jù)通道: 1024個

自定義通道: 64個

數(shù)據(jù)濃度上限可達(dá)1x 10

檢測范圍廣，0.5μm - 400μm

模塊化設(shè)計，便于升級及維護(hù)

用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測

全自動進(jìn)樣、自動稀釋、自動檢測、自動清洗、數(shù)據(jù)分析

上海梓夢科技有限公司

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