
產(chǎn)品介紹:大顆粒計(jì)數(shù)分析儀是采用光阻法原理設(shè)計(jì)生產(chǎn)的顆粒計(jì)數(shù)器,其主要的功能是用來(lái)測(cè)試CMP Slurry藥液中顆粒數(shù)量等,如二氧化硅、氧化鈰、氧化鋁等藥液。ZM-02產(chǎn)品完全可以按照要求查看任意通道顆粒的數(shù)量,如1μm、2μm、5μm等。
設(shè)備原理:光阻法
產(chǎn)品功能:顆粒計(jì)數(shù)、粒度分布、測(cè)試數(shù)量濃度

檢測(cè)方式:離線或在線
數(shù)據(jù)通道: 1024個(gè)
自定義通道: 64個(gè)
數(shù)據(jù)濃度上限可達(dá)1x 10
檢測(cè)范圍廣,0.5μm - 400μm
模塊化設(shè)計(jì),便于升級(jí)及維護(hù)
用于CMP Slurry中顆粒濃度檢測(cè)
全自動(dòng)進(jìn)樣、自動(dòng)稀釋、自動(dòng)檢測(cè)、自動(dòng)清洗、數(shù)據(jù)分析